Ergodic Theory And Related Topics Iii

Aufgrund der verschärften Anforderungen an die Reinraumtechnik gewinnt die reinraumgerechte Konstruktion der Fertigungsgeräte zunehmend an Bedeutung. Die Ergebnisse einer Literaturrecherche über Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen sowie Konstruktionsrichtlinien und -regeln zur reinraumgerechten Konstruktion verdeutlichen, daß derzeit keine vollständigen und ausreichenden Hilfsmittel für die optimale strömungstechnische Integration der Geräte in den Reinraum zur Verfügung stehen. Deshalb werden in dieser Publikation zunächst die Partikeltransportvorgänge im Reinraum zu Produktoberflächen erläutert. Fest steht, daß die Umgebungsbedingungen - im wesentlichen die lokalen Strömungsverhältnisse - den Partikeltransport bestimmen. Für die strömungsgünstige Gestaltung von Reinraumgeräten werden systematisch sowohl eine experimentelle als auch eine simulative Methode, basierend auf der numerischen Strömungssimulation, zur strömungsgünstigen Gestaltung entwickelt und an Beispielen dargestellt. Der Vergleich zwischen Ergebnissen der Simulation und dem Experiment ergibt eine hinreichend genaue Übereinstimmung. Beispielhaft durchgeführte Kontaminationsmessungen weisen eine Reduzierung des Partikelniederschlages aufgrund der Strömungsoptimierung nach. Für den Anwender werden sowohl für die Versuchsdurchführung als auch für die Simulationsrechnung problemspezifische Hinweise gegeben.Krengel, U. is the author of 'Ergodic Theory And Related Topics Iii', published 2008 under ISBN 9783540554448 and ISBN 3540554440.